Entegris 過濾器
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美國Entegris英特格Planargard? APR 塊狀 CMP 過濾器
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美國Entegris英特格Planargard? APR 塊狀 CMP 過濾器
下一代泥漿過濾器用于解決先進(jìn)節(jié)點(diǎn)工藝中泥漿中大顆粒和細(xì)顆粒的減少問題。
獲得專利的多層介質(zhì)具有高保留性,有助于減少晶圓缺陷并提高產(chǎn)量
介質(zhì)設(shè)計(jì)可吸收細(xì)小顆粒,最大限度地減少 CMP 后低效清潔,從而增加總體擁有成本
使用我們的 Chemlock ? 過濾器外殼,節(jié)省空間、清潔、易于安裝 -
規(guī)格
| 長度 | 一個 | 乙 |
| 10 英寸 | 246 毫米 ±3 毫米 (9.68 英寸 ±0.12 英寸) | 266 毫米 ±3 毫米 (10.47 英寸 ±0.12 英寸) |
| 20 英寸 | 496 毫米 ±4 毫米 (19.53 英寸 ±0.16 英寸) | 516 毫米 ±4 毫米 (20.31 英寸 ±0.16 英寸) |
| 30 英寸 | 746 毫米 ±6 毫米 (29.37 英寸 ±0.23 英寸) | 766 毫米 ±6 毫米 (30.16 英寸 ±0.23 英寸) |
| 40 英寸 | 996 毫米 ±6 毫米 (39.21 英寸 ±0.23 英寸) | 1016 毫米 ±6 毫米 (40.00 ±0.23 英寸) |
| 材料: | 膜:聚合物/非聚合物介質(zhì)組合 |
| ? | 芯材:聚丙烯 |
| ? | 墨盒 O 形圈:EPR、FKM、硅膠、2-222 |
| 產(chǎn)品類型: | 國家銀行 |
| 最高工作條件: | 最高溫度:80°C?(176°F) |
| ? | 最大正向壓差:25°C (77°F) 時(shí) 0.48 MPa (4.8 bar, 70 psi) |
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