Entegris 過(guò)濾器
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Wafergard? MAX HT 在線(xiàn)氣體過(guò)濾器
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Wafergard MAX HT 是一款專(zhuān)為高溫、高純度氣體開(kāi)發(fā)的在線(xiàn)氣體過(guò)濾器,具有出色的顆粒去除性能。
專(zhuān)為高達(dá) 200°C 的 TEOS 和 High-k 材料而設(shè)計(jì)
與 148 mm 面對(duì)面氣體過(guò)濾器兼容
緊湊的設(shè)計(jì)可與許多現(xiàn)有的喂料系統(tǒng)一起使用,提供設(shè)計(jì)靈活性和多功能性
特殊烘烤可快速啟動(dòng)供氣管線(xiàn)
低壓差可穩(wěn)定供料 -
產(chǎn)品規(guī)格
| ?材料 | 膜? | 聚四氟乙烯 |
| ? | 支持 | 粉煤灰 |
| ? | 住房 | 316L不銹鋼 |
| 排除粒徑 | ≥0.0015微米 | |
| 顆粒捕獲率 | ≥99.9999999% @ 25°C | |
| 初始清潔度 | 大于 0.01 μm 的顆粒 0.03 個(gè)/L 或更少 | |
| 內(nèi)表面粗糙度 | Ra < 0.17 微米 | |
| 聯(lián)系 | 1/2" (12.7 mm) 外螺紋墊圈密封(兼容VCR? ) | |
| 使用條款 | 最大工作壓力 | 0.99 MPa @ 0 至 200 °C |
| ? | 最大允許正壓差 | 0.70 MPa @ 0 至 40 °C |
| ? | ? | 0.08 兆帕@200°C |
| ? | 最高工作溫度 | 200℃(惰性氣體) |
| 他泄漏率 | <1×10?-10??Pa·m?3?/秒 | |
| 流量 | 請(qǐng)檢查性能數(shù)據(jù)。 | |
型號(hào)
| 型號(hào) | 長(zhǎng)度 |
|---|---|
| WGMXMPRR4HT | 127 毫米(5.00 英寸) |
| WGMXMPRR4HTL | 148 毫米(5.83 英寸) |
?
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