產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?過濾膜?? ?已獲專利的燒結(jié)鎳
住房?? ?電拋光 F20 不銹鋼
下游清潔度?? ?粒子*?? ?<0.03 顆粒/升 (<1 顆粒/立方英尺) >0.01 微米
揮發(fā)物**?? ?H2O、O2和THC的揮發(fā)性排氣低于可檢測限度（室溫下通過 RGA 和 FID 測定）
移除評級?? ?≥0.0015 微米?? ?
內(nèi)部表面處理?? ?≤5 微英寸 Ra?? ?
氦氣泄漏率?? ?合格的?? ?2x10 -10 ?atm cc/秒
已測試?? ?1x10 -9 ?atm cc/秒
最大工作條件?? ?最大入口壓力：?? ?70 巴（1000 psi）@ 100°C（212°F）
最大正向/反向壓差：?? ?10 巴（150 磅/平方英寸）
最高工作溫度?? ?惰性氣體?? ?35 bar (500 psi) 時溫度為 400°C (752°F)
腐蝕性和活性氣體?? ?70 bar (1000 psi) 時 50°C (122°F)
保修單?? ?5年?? ?
顆粒保留?? ?在 30 slpm 下，所有顆粒的去除率大于 99.9999999% (9 LRV)
在 75 slpm 下去除所有顆粒的效率超過 99.9999%（參考最具穿透力的顆粒大?。?br />
流速?? ?參考流量曲線?? ?
*顆粒潔凈度符合 SEMASPEC 顆粒脫落測試方法 (#93021511A-STD) 的要求
**揮發(fā)性物質(zhì)潔凈度符合 SEMASPEC 測試方法的要求：THC 貢獻 (#90120396B-STD)、水分貢獻 (#90120397B-STD)、氧氣貢獻 (#90120398B-STD)
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